以下是其发展的主要历程和趋势： 早期发展阶段1.1947年贝尔实验室的肖克利、巴丁和布拉顿发明了晶体管，这是微电子技术发展中的第一个里程碑。 1950年结型晶体管诞生。 1951年场效应晶体管发明。 1956年C.S. Fuller发明了扩散工艺。 1958年仙童公司的罗伯特·诺伊斯和德州仪器的杰克·基尔比分别发明了集成电路，开创了世界微电子学的历史。 技术进步1960年H.H. Loor和E. Castellani发明了光刻工艺。 1962年美国RCA公司研制出MOS场效应晶体管。 1963年F.M. Wanlass和C.T. Sah首次提出CMOS技术，今天95%以上的集成电路...

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